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資料種別 記事・論文

MEMS構造に損傷を与えないパーティクル除去方法

平野 栄樹,Mahmoud Rasly,Neelam Kaushik 他

詳細情報

タイトル MEMS構造に損傷を与えないパーティクル除去方法
著者 平野 栄樹
著者 Mahmoud Rasly
著者 Neelam Kaushik 他
出版年 2013-05
別タイトル Particle Removal without Causing Damage to MEMS Structure
件名(キーワード) パーティクル汚染
件名(キーワード) 構造破壊
件名(キーワード) メガソニック洗浄
件名(キーワード) 二流体噴霧洗浄
件名(キーワード) 超音波洗浄
件名(キーワード) ゼータ電位
件名(キーワード) Particulate contamination
件名(キーワード) Structural damage
件名(キーワード) Megasonic cleaning
件名(キーワード) 2-fluid jet spray cleaning
件名(キーワード) Ultrasonic cleaning
件名(キーワード) Zeta-potential
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSNL形式) 13418939
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
掲載巻 133
掲載号 5
掲載ページ 157-163
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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