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資料種別 記事・論文

キャピラリー放電を用いたDiamond-Like Carbon薄膜の成膜技術の開発(第2報)キャピラリー放電による蒸着への放電管材質の影響

藤井 清利,藤原 閲夫,清水 政義 他

詳細情報

タイトル キャピラリー放電を用いたDiamond-Like Carbon薄膜の成膜技術の開発(第2報)キャピラリー放電による蒸着への放電管材質の影響
著者 藤井 清利
著者 藤原 閲夫
著者 清水 政義 他
出版年 2013-05
別タイトル Application of Capillary Discharge Technique for Deposition of Diamond-Like Carbon Thin Films(2nd Report)Effect of Discharge Tube Material on Deposition using Capillary Discharge Method
件名(キーワード) キャピラリー放電
件名(キーワード) ダイヤモンドライクカーボン
件名(キーワード) DLC
件名(キーワード) ピンチ
件名(キーワード) 沿面放電
件名(キーワード) capillary discharge
件名(キーワード) diamond-like carbon
件名(キーワード) z-pinch
件名(キーワード) surface discharge
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03854205
掲載誌情報(ISSNL形式) 03854205
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015705-00
掲載誌名 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
掲載巻 133
掲載号 5
掲載ページ 293-299
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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