ナノチャネルを有する強誘電体ゲート薄膜トランジスタの作製とその電気特性評価 (小特集 第53回真空に関する連合講演会論文集(2))
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 野村 侑平吉村 武藤村 紀文
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Fabrication and Electric Properties of Ferroelectric-Gate Thin Film Transistors with Nano-Channel
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 56(5):2013.5
- 掲載巻
- 56
- 掲載号
- 5