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資料種別 記事・論文

ナノチャネルを有する強誘電体ゲート薄膜トランジスタの作製とその電気特性評価

野村 侑平,吉村 武,藤村 紀文

詳細情報

タイトル ナノチャネルを有する強誘電体ゲート薄膜トランジスタの作製とその電気特性評価
著者 野村 侑平
著者 吉村 武
著者 藤村 紀文
シリーズ名 小特集 第53回真空に関する連合講演会論文集(2)
出版年 2013-05
別タイトル Fabrication and Electric Properties of Ferroelectric-Gate Thin Film Transistors with Nano-Channel
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 18822398
掲載誌情報(ISSNL形式) 18822398
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008601226-00
掲載誌名 Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
掲載巻 56
掲載号 5
掲載ページ 172-175
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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