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資料種別 記事・論文

Innovative and Tailor-made Resist and Working Stamp Materials for Advancing NIL-based Production Technology

Arne Schleunitz,Marko Vogler,Irene Fernandez-Cuesta 他

詳細情報

タイトル Innovative and Tailor-made Resist and Working Stamp Materials for Advancing NIL-based Production Technology
著者 Arne Schleunitz
著者 Marko Vogler
著者 Irene Fernandez-Cuesta 他
出版年 2013
件名(キーワード) nanoimprint lithography
件名(キーワード) hybrid polymer
件名(キーワード) functional material
件名(キーワード) anti-adhesive property
件名(キーワード) release force
件名(キーワード) polymeric working stamp
件名(キーワード) nanofluidics
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 26
掲載号 1
掲載ページ 119-124
言語(ISO639-2形式) eng : English

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