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資料種別 記事・論文

Approach for High Aspect Ratio Pattern Transfer by Nanoimprint Lithography using Mixture Polymers of Molecular Weights

Naoki Nishikura,Hiroaki Kawata,Yoshihiko Hirai

詳細情報

タイトル Approach for High Aspect Ratio Pattern Transfer by Nanoimprint Lithography using Mixture Polymers of Molecular Weights
著者 Naoki Nishikura
著者 Hiroaki Kawata
著者 Yoshihiko Hirai
出版年 2013
件名(キーワード) Thermal nanoimprint
件名(キーワード) Molecular weight of polymer
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 26
掲載号 1
掲載ページ 97-103
言語(ISO639-2形式) eng : English

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