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資料種別 記事・論文

Study of Swelling Behavior in ArF Resist during Development by the QCM Method(3)Observations of Swelling Layer Elastic Modulus

Atsushi Sekiguchi

詳細情報

タイトル Study of Swelling Behavior in ArF Resist during Development by the QCM Method(3)Observations of Swelling Layer Elastic Modulus
著者 Atsushi Sekiguchi
出版年 2013
件名(キーワード) QCM development analysis method
件名(キーワード) ArF resist
件名(キーワード) swelling
件名(キーワード) TMAH
件名(キーワード) TBAH
件名(キーワード) elastic modulus
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 26
掲載号 4
掲載ページ 479-484
言語(ISO639-2形式) eng : English

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