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資料種別 記事・論文

高規則性陽極酸化ポーラスアルミナを用いたナノインプリント

柳下 崇,益田 秀樹

詳細情報

タイトル 高規則性陽極酸化ポーラスアルミナを用いたナノインプリント
著者 柳下 崇
著者 益田 秀樹
シリーズ名 特集 ナノインプリントリソグラフィ技術における微細化と低コスト化の現状
出版年 2013-05
別タイトル Nanoimprinting using ordered anodic porous alumina
件名(キーワード) anodic porous alumina
件名(キーワード) nanoimprinting
件名(キーワード) antireflection structure
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09142703
掲載誌情報(ISSNL形式) 09142703
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000054214-00
掲載誌名 砥粒加工学会誌
掲載巻 57
掲載号 5
掲載通号 369
掲載ページ 283-286
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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