クリーンルーム用表面改質型QCMセンサの感度向上に関する検討 (特集 第29回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会 ショート論文集)

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クリーンルーム用表面改質型QCMセンサの感度向上に関する検討

(特集 第29回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会 ショート論文集)

国立国会図書館請求記号
Z16-98
国立国会図書館書誌ID
024642817
資料種別
記事
著者
田中 勲ほか
出版者
東京 : 日本空気清浄協会
出版年
2013
資料形態
掲載誌名
空気清浄 : コンタミネーションコントロール 50(6)=322:2013
掲載ページ
p.14-18
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
田中 勲
山田 容子
後藤 昌秀 他
並列タイトル等
Study on Improvement in Sensitivity of a QCM Surface-Modification-Type Sensor for Clean Rooms
タイトル(掲載誌)
空気清浄 : コンタミネーションコントロール
巻号年月日等(掲載誌)
50(6)=322:2013
掲載巻
50
掲載号
6