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資料種別 記事・論文

クリーンルーム用表面改質型QCMセンサの感度向上に関する検討

田中 勲,山田 容子,後藤 昌秀 他

詳細情報

タイトル クリーンルーム用表面改質型QCMセンサの感度向上に関する検討
著者 田中 勲
著者 山田 容子
著者 後藤 昌秀 他
シリーズ名 特集 第29回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会 ショート論文集
出版年 2013
別タイトル Study on Improvement in Sensitivity of a QCM Surface-Modification-Type Sensor for Clean Rooms
件名(キーワード) クリーンルーム
件名(キーワード) clean room
件名(キーワード) QCMセンサ
件名(キーワード) quartz crystal microbalance sensor
件名(キーワード) 分子状汚染物質
件名(キーワード) airborne molecular contaminant
件名(キーワード) 表面改質
件名(キーワード) surface modification
件名(キーワード) 測定技術
件名(キーワード) measuring technology
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 00235032
掲載誌情報(ISSNL形式) 00235032
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000005917-00
掲載誌名 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
掲載巻 50
掲載号 6
掲載通号 322
掲載ページ 14-18
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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