三次元集積化に向けた微小Auバンプ電極と接着剤のハイブリッド接合技術 (特集 接合・接着技術と部材)

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三次元集積化に向けた微小Auバンプ電極と接着剤のハイブリッド接合技術

(特集 接合・接着技術と部材)

国立国会図書館請求記号
Z16-B314
国立国会図書館書誌ID
024350756
資料種別
記事
著者
仁村 将次ほか
出版者
東京 : テクノタイムズ社
出版年
2013-03
資料形態
掲載誌名
ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編 19(3)=214:2013.3
掲載ページ
p.23-29
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
仁村 将次
庄子 習一
水野 潤 他
並列タイトル等
Hybrid Bonding Technology of Au Microbump and Adhesive for 3D Integration
タイトル(掲載誌)
ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
19(3)=214:2013.3
掲載巻
19
掲載号
3