SPMスクラッチ法を用いたナノスケール加工のグラフェンへの適用 (シリコン材料・デバイス)

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SPMスクラッチ法を用いたナノスケール加工のグラフェンへの適用

(シリコン材料・デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
024342484
資料種別
記事
著者
須田 隆太郎ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2013-02
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 112(446):2013.2.27・28
掲載ページ
p.71-76
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
須田 隆太郎
齋藤 孝成
吉田 卓 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
Surface Modification of Graphene by Scanning Probe Microscopy Scratch Nanolithography
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
112(446):2013.2.27・28
掲載巻
112
掲載号
446