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資料種別 記事・論文

脆弱なナノ構造に損傷を与えない非水洗浄技術

服部 毅

詳細情報

タイトル 脆弱なナノ構造に損傷を与えない非水洗浄技術
著者 服部 毅
シリーズ名 特集 機械加工にまつわる洗浄技術
出版年 2013-02
別タイトル Non-aqueous cleaning without causing damage to fragile nano-structures
件名(キーワード) silicon wafer
件名(キーワード) MEMS
件名(キーワード) cleaning
件名(キーワード) surface tension
件名(キーワード) pattern collapse
件名(キーワード) supercritical fluid
件名(キーワード) cryogenic aerosol
件名(キーワード) laser
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09142703
掲載誌情報(ISSNL形式) 09142703
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000054214-00
掲載誌名 砥粒加工学会誌
掲載巻 57
掲載号 2
掲載通号 366
掲載ページ 96-99
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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