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資料種別 記事・論文

チャネル長を3nmに微細化した接合レストランジスタの電気特性

右田 真司,森田 行則,昌原 明植 他

詳細情報

タイトル チャネル長を3nmに微細化した接合レストランジスタの電気特性
著者 右田 真司
著者 森田 行則
著者 昌原 明植 他
シリーズ名 シリコン材料・デバイス・IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術)
出版年 2013-01-30
別タイトル Electrical Performances of Junctionless-FETs at 3nm-Channel Length
件名(キーワード) 接合レス
件名(キーワード) FET
件名(キーワード) SOI
件名(キーワード) 短チャネル
件名(キーワード) ウェットエッチング
件名(キーワード) Junctionless
件名(キーワード) Short Channel
件名(キーワード) Wet etching
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSNL形式) 09135685
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
掲載巻 112
掲載号 421
掲載ページ 5-8
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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