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資料種別 記事・論文

塗布光照射法によるナノエピタキシャル酸化物膜の作製と応用

土屋 哲男,中島 智彦,篠田 健太郎

詳細情報

タイトル 塗布光照射法によるナノエピタキシャル酸化物膜の作製と応用
著者 土屋 哲男
著者 中島 智彦
著者 篠田 健太郎
シリーズ名 特集 ナノ構造セラミックス
出版年 2012-03
別タイトル Preparation of Nano-Epitaxial Oxide Film by Photo assisted-MOD and its Application
件名(キーワード) 塗布光照射法
件名(キーワード) 低温プロセス
件名(キーワード) エピタキシャル成長
件名(キーワード) 酸化バナジウム
件名(キーワード) ナノ構造
件名(キーワード) 赤外センサ
件名(キーワード) 抵抗温度整数
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13447858
掲載誌情報(ISSNL形式) 13447858
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000105512-00
掲載誌名 マテリアルインテグレーション
掲載巻 25
掲載号 3
掲載通号 280
掲載ページ 57-63
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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