記事・論文
タイトル | Fabrication and Property Evaluation of Mo Compacts for Sputtering Target Application by Spark Plasma Sintering Process |
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著者 | Hyun-Kuk Park |
著者 | Jung-Han Ryu |
著者 | Hee-Jun Youn 他 |
出版年 | 2012-06 |
件名(キーワード) | spark plasma sintering process |
件名(キーワード) | molybdenum |
件名(キーワード) | sputtering target |
対象利用者 | 一般 |
資料の種別 | 記事・論文 |
掲載誌情報(ISSN形式) | 13459678 |
掲載誌情報(ISSNL形式) | 13459678 |
掲載誌情報(URI形式) | http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000163280-00 |
掲載誌名 | Materials Transactions |
掲載巻 | 53 |
掲載号 | 6 |
掲載ページ | 1056-1061 |
言語(ISO639-2形式) | eng : English |