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原子レベル計測のための試料自動作製技術 : FIBマイクロサンプリング「NB5000」 (特集 測る : 社会・産業分野に貢献する計測技術)

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原子レベル計測のための試料自動作製技術 : FIBマイクロサンプリング「NB5000」(特集 測る : 社会・産業分野に貢献する計測技術)

国立国会図書館請求記号
Z14-47
国立国会図書館書誌ID
023598175
資料種別
記事
著者
富松 聡ほか
出版者
東京 : 日立評論社
出版年
2012-02
資料形態
デジタル
掲載誌名
日立評論 94(2)=1080:2012.2
掲載ページ
p.184-187
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
富松 聡
関原 雄
會澤 恵 他
並列タイトル等
Auto Fabrication Technology of Electron Microscope Specimen for Atomic Order Measurement
タイトル(掲載誌)
日立評論
巻号年月日等(掲載誌)
94(2)=1080:2012.2
掲載巻
94
掲載号
2