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資料種別 記事・論文

原子レベル計測のための試料自動作製技術 : FIBマイクロサンプリング「NB5000」

富松 聡,関原 雄,會澤 恵 他

詳細情報

タイトル 原子レベル計測のための試料自動作製技術 : FIBマイクロサンプリング「NB5000」
著者 富松 聡
著者 関原 雄
著者 會澤 恵 他
シリーズ名 特集 測る : 社会・産業分野に貢献する計測技術
出版年 2012-02
別タイトル Auto Fabrication Technology of Electron Microscope Specimen for Atomic Order Measurement
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03675874
掲載誌情報(ISSNL形式) 03675874
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000020045-00
掲載誌名 日立評論
掲載巻 94
掲載号 2
掲載通号 1080
掲載ページ 184-187
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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