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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 寺澤 恒男山根 武
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- At Wavelength Inspection of 6-inch Extreme Ultraviolet Lithography Mask Blank
- タイトル（掲載誌）
- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 41(3):2012.3
- 掲載巻
- 41
- 掲載号
- 3