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資料種別 記事・論文

Potential Characterization of Interconnect Corrosion by Kelvin Probe and Electrostatic Force Microscopies

Masako Kodera,Yasuhito Yoshimizu,Kanae Uchida

詳細情報

タイトル Potential Characterization of Interconnect Corrosion by Kelvin Probe and Electrostatic Force Microscopies
著者 Masako Kodera
著者 Yasuhito Yoshimizu
著者 Kanae Uchida
シリーズ名 Special Issue : Solid State Devices and Materials (2)
出版年 2012-04
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSNL形式) 00214922
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000009262265-00
掲載誌名 Japanese journal of applied physics : JJAP
掲載巻 51
掲載号 4
掲載通号 2
掲載ページ 04DB05-1-4
言語(ISO639-2形式) eng : English

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