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資料種別 記事・論文

InGaZnOチャネルの酸素制御とGate/Drain Offset構造によるBEOLトランジスタの高信頼化

金子 貴昭,井上 尚也,齋藤 忍 他

詳細情報

タイトル InGaZnOチャネルの酸素制御とGate/Drain Offset構造によるBEOLトランジスタの高信頼化
著者 金子 貴昭
著者 井上 尚也
著者 齋藤 忍 他
シリーズ名 シリコン材料・デバイス
出版年 2012-03-05
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSNL形式) 09135685
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
掲載巻 111
掲載号 463
掲載ページ 13-17
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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