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資料種別 記事・論文

BEOLプロセスを用いた超低電圧デバイスの開発

木村 紳一郎

詳細情報

タイトル BEOLプロセスを用いた超低電圧デバイスの開発
著者 木村 紳一郎
シリーズ名 シリコン材料・デバイス
出版年 2012-03-05
別タイトル Development of Ultra-low Voltage Devices utilizing BEOL Process
件名(キーワード) 超低電圧デバイス
件名(キーワード) BEOL
件名(キーワード) 抵抗変化型デバイス
件名(キーワード) 不揮発
件名(キーワード) 磁性変化
件名(キーワード) 相変化
件名(キーワード) 原子移動
件名(キーワード) low voltage/power devices
件名(キーワード) Resistive-change non volatile devices
件名(キーワード) magneto-resistance change
件名(キーワード) phase change
件名(キーワード) atom migration
件名(キーワード) LEAP
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSNL形式) 09135685
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
掲載巻 111
掲載号 463
掲載ページ 1-5
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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