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マルチヒーターを使用した一方向性凝固法によるシリコン多結晶の熱流動解析

マルチヒーターを使用した一方向性凝固法によるシリコン多結晶の熱流動解析
紙デジタル記事
中野 智, 劉 立軍, 柿本 浩一<Z14-184>Reports of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University = 九州大学応用力学研究所所報(130) 2006.3p.21～27
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マルチヒーターを使用した一方向性凝固法によるシリコン多結晶の熱流動解析

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デジタル記事
中野, 智, 劉, 立軍, 柿本, 浩一Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University2006-03九州大学応用力学研究所所報130p.21-27
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