丸山 伸伍, 松本 祐司<Z17-54>化學工業69(10)=824:2018.10p.753-762
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アネルバ(株)<Z16-474>真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan48(1) 2005.1p.31～33
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2015Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan35 0p.374-
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細川 直吉<Z17-60>化学と教育 = Chemistry & education42(5) 1994.05p.p342～347
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- 要約等...VDとドライエッチングの代表的真空化学反応の二つの具体例を説明する。
<Z17-159>ポリマーダイジェスト53(9) 2001.9p.138～140
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2012-08-27応用物理学会学術講演会講演予稿集2012.2 0p.3367-3367
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アネルバ株式会社2005真空48 1p.31-33
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細川 直吉1994化学と教育42 5p.342-347
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- 要約等...VDとドライエッチングの代表的真空化学反応の二つの具体例を説明する。
真空化学会[1953]-1970<Z16-475>
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- 一般注記本タイトル等は最新号による 出版者変遷: 真空化学同好会 (-8巻1号)
- 著者標目真空化学会 真空化学同好会
- 典拠情報（著者標目/「をも見よ」参照）真空化学同好会 真空化学会
橋本 光一<Z17-53>化学工学 = Chemical engineering of Japan34(1) 1970.01p.33～36
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藤井 義生<Z16-475>真空化学15(3・4) 1968.01p.139
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持田隆 著工学図書1964<571-M881s>
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石川 清一<Z16-475>真空化学10(1) 1962.01p.????
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石川 清一<Z16-475>真空化学11(3) 1963.06p.????
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豊田 勤治<Z16-475>真空化学10(1) 1962.01p.????
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五十嵐 真澄<Z16-475>真空化学10(4) 1962.08p.????
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橋本 光一<Z16-475>真空化学7(2) 1959.04p.????
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真空化学同好会真空化学同好会1956.1-
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- 一般注記責任表示・出版者変更: 真空化学同好会 (1巻1号-)→真空化学会
- 著者標目真空化学同好会
柴田 栄一<Z16-475>真空化学8(1) 1960.01p.????
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橋本 光一1970化学工学34 1p.33-36
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