検索結果 246 件

図書
八木重典 編著朝倉書店2012.7<MC231-J12>
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  • 内容細目バリア放電 八木/重典 編著 八木重典 編著 1 放電プラズマの基礎とバリア放電の位置づけ 1.1 放電の形態 1.2 バリア放...
図書
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会2022.11<MC241-M17>
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  • 内容細目プロセス技術者のためのプラズマの基礎 辰巳哲也 分光学的方法によるプラズマ計測 佐々木浩一 プラ...
図書
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会2021.11<MC241-M15>
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  • 内容細目...礎と最新動向 板垣奈穂 大気圧プラズマの基礎・応用技術の最新動向 白井直機 プラズマ誘起ダメージ機構の基...
記事
平等 拓範<Z17-645>日本燃焼学会誌 = Journal of the Combustion Society of Japan64(207):2022.2p.58-64
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図書
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会2019.11<MC241-M2>
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  • 内容細目反応性スパッタリングの基礎と応用展開 重里有三 著 プラズマの基礎と計測技術 稲田優貴 著 非平衡プラズマ生成制御とプロセス ...
デジタル記事
岡本 幸雄<Z16-474>Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空59(7):2016.7p.161-170
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  • 要約等プラズマを用いた微細加工や成膜などのプラズマプロセスにおけるプラズマの基礎的な事項(プラズマの性質と基礎量,プラズマ中の素過程,荷電粒...
記事
末永 祐磨, 高松 利寛, 岩井 貴弘, 沖野 晃俊<Z15-349>静電気学会誌 / 静電気学会 編44(3)=256:2020.5p.96-100
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デジタル記事
中野 武雄<Z16-474>Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空57(8):2014.8p.308-312
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図書
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会2015.11<MC241-L7>
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  • 内容細目プラズマプロセスの基礎 プロセスプラズマの基礎と計測 菅井秀郎 著 プラズマ技術の最前線 半導体エッチング...
デジタル記事
菅原 広剛<Z16-177>電気学会誌 = The journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan131(11) 2011.11p.741~744
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博士論文
向笠忍 [著][向笠忍][2011]<UT51-2010-R446>
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デジタル記事
齋藤 健一<Z15-8>プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編86(6) 2010.6p.328~332
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デジタル記事
前原 常弘, 川嶋 文人<Z15-8>プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編86(6) 2010.6p.312~316
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デジタル記事
佐々木 浩一<Z15-8>プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編86(6) 2010.6p.324~327
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デジタル記事
宮副 裕之, Stauss Sven, 寺嶋 和夫<Z15-8>プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編86(6) 2010.6p.305~311
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デジタル記事
喜屋武 毅, 猪原 武士, 秋山 秀典 他<Z15-8>プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編86(6) 2010.6p.317~323
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