門倉 貞夫<Z17-692>コンバーテック38(3) (通号 444) 2010.3p.100～103
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田中 愛夢, 野口 大輔, 寺村 享祐, 矢野 智泰, 栗原 路子, 近藤 千恵子2021日本表面真空学会学術講演会要旨集2021 0p.2P17S
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- 要約等...究はシラス薄膜の低温での相分離スパッタ技術開発を目的とし、熱エネルギーに代わり、薄膜構造に影響を与える...
2021日本表面真空学会学術講演会要旨集2021 0p.2P17S-
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- 要約等...究はシラス薄膜の低温での相分離スパッタ技術開発を目的とし、熱エネルギーに代わり、薄膜構造に影響を与える...
2016-03-03応用物理学会学術講演会講演予稿集2016.1 0p.233-233
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Cheng Shih Wang [著][Cheng Shih Wang][2006]<UT51-2006-N506>
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- 並列タイトル等（連結）低温、高スループット化を目指したパルス駆動円筒マグネトロンスパッタ技術
- 並列タイトル等低温、高スループット化を目指したパルス駆動円筒マグネトロンスパッタ技術
鄒 紅〔コウ〕, 宮口 有典, 増田 健 他<Z16-940>電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報100 (通号 148) 2000.06.29p.49～56
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- 件名PZT 量産スパッタ技術 組成制御 プロセス再現性 プラズマ安定化 FRAM RF ...
- 並列タイトル等（連結）強誘電体メモリ量産用強誘電体スパッタ技術
- 並列タイトル等強誘電体メモリ量産用強誘電体スパッタ技術
Koukou Suu, 宮口 有典, 増田 健 他<Z16-940>電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報100 (通号 151) 2000.06.29p.49～56
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- 並列タイトル等（連結）強誘電体メモリ量産用強誘電体スパッタ技術
- 並列タイトル等強誘電体メモリ量産用強誘電体スパッタ技術
鈴木 巧一<Z17-206>Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan40(2) 2005.2p.101～105
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鈴木 巧一<Z14-121>工業材料 = Engineering materials52(6) (通号 667) 2004.6p.105～107
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鈴木 巧一<Z14-121>工業材料 = Engineering materials52(5) (通号 666) 2004.5p.97～101
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2011-08-16応用物理学会学術講演会講演予稿集2011.2 0p.3499-3499
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柏倉 良晴, 松井 良文, 長野 恵<Z16-245>富士時報 = Fuji electric journal65(9) 1992.09p.p611～613
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森田 正, 山本 直志, 倉内 利春 他<Z16-1638>月刊トライボロジー13(3) (通号 139) 1999.03p.23～25
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石井, 清, 宇都宮大学1997-1998<Y151-H09650379>
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和佐清孝, 早川茂 著共立出版1988.6<ND371-E20>
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- 典拠情報（件名/「を見よ」参照）スパッタ Sputtering (Physics) スパッタリング技術 スパッタリング法 スパッタ技術
Cheng, Shih Wang, 汪, 正時金沢大学2007-03-01博士学位論文要旨 論文内容の要旨および論文審査結果の要旨／金沢大学大学院自然科学研究科平成19年3月p.249-258
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- 並列タイトル等（連結）低温、高スループット化を目指したパルス駆動円筒マグネトロンスパッタ技術
- 並列タイトル等低温、高スループット化を目指したパルス駆動円筒マグネトロンスパッタ技術
